三氯氢硅专用硅粉生产工艺
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三氯氢硅专用硅粉生产工艺

  • 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应

    2023年1月24日  三氯氢硅生产主要有3个工序:三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加热至一定的温度,然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐,最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉,与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应;生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器、2级冷凝器

  • 世界上主要的几种多晶硅生产工艺

    2010年3月10日  世界上主要的几种多晶硅生产工艺 1, 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    硅粉精制工艺 21 硅粉的性质 硅的密度为2329kg\cm3,沸点为2355℃,熔点为1480~1500℃,在三氯氢硅生产中其水分小于200ppm。 有水易于形成盐酸,盐酸因含有游离氢而腐蚀设备,其爆炸极限下限为160g\ cm3。 硅在地壳中分部很广,约占地壳总质量的1/4,仅次于氧。 主要分部于黑龙江、吉林。 硅分无定形硅和晶体硅。 晶体硅是灰色有

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法,主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。 氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢,氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐,然后送三氯氢硅合成炉。

  • 多晶硅研究系列1:三大生产工艺的比较 1多晶硅的生产工艺

    2012年3月27日  改良西门子法是一种化学方法,首先利用冶金硅(纯度要求在995%以上)与氯化氢(HCl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(SiHCl3,下文简称TCS),然后将TCS精馏提纯,最后通过还原反应和化学气相沉积(CVD)将高纯度的TCS转化为高纯度的多

  • 三氯氢硅生产工艺流程 百度文库

    三氯氢硅生产工艺流程 三氯氢硅合成。 将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。 在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。 生成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器、旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷,经水冷后

  • 三氯氢硅制备工艺介绍 百度学术

    从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法。 前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氯气、硅粉、氯化氢为原料制备三氯氢

  • 三氯氢硅制备工艺介绍

    摘要: 从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氢气、硅粉、氯化氢为原料制备

  • 三氯氢硅生产及工艺 百度学术

    张祖光 摘要: 对三氯氢硅的市场情况进行了预测,简述了三氯氢硅的生产工艺,并对生产工艺中的危险性进行了分析,提出相应的措施 关键词: 三氯氢硅 有机硅 硅烷偶联剂 DOI: 103969/jissn10035059200908023 被引量: 41

  • 改良西门子法百度百科

    改良西门子法 多晶硅 生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯 三氯氢硅 ,生成多晶硅沉积在硅芯上。 改良西门子工艺是在传统的西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4

  • 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应

    2023年1月24日  三氯氢硅生产主要有3个工序:三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加热至一定的温度,然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐,最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉,与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应;生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器、2级冷凝器

  • 世界上主要的几种多晶硅生产工艺

    2010年3月10日  世界上主要的几种多晶硅生产工艺 1, 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    硅粉精制工艺 21 硅粉的性质 硅的密度为2329kg\cm3,沸点为2355℃,熔点为1480~1500℃,在三氯氢硅生产中其水分小于200ppm。 有水易于形成盐酸,盐酸因含有游离氢而腐蚀设备,其爆炸极限下限为160g\ cm3。 硅在地壳中分部很广,约占地壳总质量的1/4,仅次于氧。 主要分部于黑龙江、吉林。 硅分无定形硅和晶体硅。 晶体硅是灰色有

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法,主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。 氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢,氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐,然后送三氯氢硅合成炉。

  • 多晶硅研究系列1:三大生产工艺的比较 1多晶硅的生产工艺

    2012年3月27日  改良西门子法是一种化学方法,首先利用冶金硅(纯度要求在995%以上)与氯化氢(HCl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(SiHCl3,下文简称TCS),然后将TCS精馏提纯,最后通过还原反应和化学气相沉积(CVD)将高纯度的TCS转化为高纯度的多

  • 三氯氢硅生产工艺流程 百度文库

    三氯氢硅生产工艺流程 三氯氢硅合成。 将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。 在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。 生成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器、旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷,经水冷后

  • 三氯氢硅制备工艺介绍 百度学术

    从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法。 前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氯气、硅粉、氯化氢为原料制备三氯氢

  • 三氯氢硅制备工艺介绍

    摘要: 从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氢气、硅粉、氯化氢为原料制备

  • 三氯氢硅生产及工艺 百度学术

    张祖光 摘要: 对三氯氢硅的市场情况进行了预测,简述了三氯氢硅的生产工艺,并对生产工艺中的危险性进行了分析,提出相应的措施 关键词: 三氯氢硅 有机硅 硅烷偶联剂 DOI: 103969/jissn10035059200908023 被引量: 41

  • 改良西门子法百度百科

    改良西门子法 多晶硅 生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯 三氯氢硅 ,生成多晶硅沉积在硅芯上。 改良西门子工艺是在传统的西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4

  • 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应

    2023年1月24日  三氯氢硅生产主要有3个工序:三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加热至一定的温度,然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐,最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉,与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应;生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器、2级冷凝器

  • 世界上主要的几种多晶硅生产工艺

    2010年3月10日  世界上主要的几种多晶硅生产工艺 1, 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    硅粉精制工艺 21 硅粉的性质 硅的密度为2329kg\cm3,沸点为2355℃,熔点为1480~1500℃,在三氯氢硅生产中其水分小于200ppm。 有水易于形成盐酸,盐酸因含有游离氢而腐蚀设备,其爆炸极限下限为160g\ cm3。 硅在地壳中分部很广,约占地壳总质量的1/4,仅次于氧。 主要分部于黑龙江、吉林。 硅分无定形硅和晶体硅。 晶体硅是灰色有

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法,主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。 氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢,氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐,然后送三氯氢硅合成炉。

  • 多晶硅研究系列1:三大生产工艺的比较 1多晶硅的生产工艺

    2012年3月27日  改良西门子法是一种化学方法,首先利用冶金硅(纯度要求在995%以上)与氯化氢(HCl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(SiHCl3,下文简称TCS),然后将TCS精馏提纯,最后通过还原反应和化学气相沉积(CVD)将高纯度的TCS转化为高纯度的多

  • 三氯氢硅生产工艺流程 百度文库

    三氯氢硅生产工艺流程 三氯氢硅合成。 将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。 在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。 生成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器、旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷,经水冷后

  • 三氯氢硅制备工艺介绍 百度学术

    从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法。 前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氯气、硅粉、氯化氢为原料制备三氯氢

  • 三氯氢硅制备工艺介绍

    摘要: 从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氢气、硅粉、氯化氢为原料制备

  • 三氯氢硅生产及工艺 百度学术

    张祖光 摘要: 对三氯氢硅的市场情况进行了预测,简述了三氯氢硅的生产工艺,并对生产工艺中的危险性进行了分析,提出相应的措施 关键词: 三氯氢硅 有机硅 硅烷偶联剂 DOI: 103969/jissn10035059200908023 被引量: 41

  • 改良西门子法百度百科

    改良西门子法 多晶硅 生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯 三氯氢硅 ,生成多晶硅沉积在硅芯上。 改良西门子工艺是在传统的西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4

  • 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应

    2023年1月24日  三氯氢硅生产主要有3个工序:三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加热至一定的温度,然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐,最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉,与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应;生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器、2级冷凝器

  • 世界上主要的几种多晶硅生产工艺

    2010年3月10日  世界上主要的几种多晶硅生产工艺 1, 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    硅粉精制工艺 21 硅粉的性质 硅的密度为2329kg\cm3,沸点为2355℃,熔点为1480~1500℃,在三氯氢硅生产中其水分小于200ppm。 有水易于形成盐酸,盐酸因含有游离氢而腐蚀设备,其爆炸极限下限为160g\ cm3。 硅在地壳中分部很广,约占地壳总质量的1/4,仅次于氧。 主要分部于黑龙江、吉林。 硅分无定形硅和晶体硅。 晶体硅是灰色有

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    三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法,主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。 氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢,氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐,然后送三氯氢硅合成炉。

  • 多晶硅研究系列1:三大生产工艺的比较 1多晶硅的生产工艺

    2012年3月27日  改良西门子法是一种化学方法,首先利用冶金硅(纯度要求在995%以上)与氯化氢(HCl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(SiHCl3,下文简称TCS),然后将TCS精馏提纯,最后通过还原反应和化学气相沉积(CVD)将高纯度的TCS转化为高纯度的多

  • 三氯氢硅生产工艺流程 百度文库

    三氯氢硅生产工艺流程 三氯氢硅合成。 将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。 在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。 生成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器、旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷,经水冷后

  • 三氯氢硅制备工艺介绍 百度学术

    从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法。 前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氯气、硅粉、氯化氢为原料制备三氯氢

  • 三氯氢硅制备工艺介绍

    摘要: 从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氢气、硅粉、氯化氢为原料制备

  • 三氯氢硅生产及工艺 百度学术

    张祖光 摘要: 对三氯氢硅的市场情况进行了预测,简述了三氯氢硅的生产工艺,并对生产工艺中的危险性进行了分析,提出相应的措施 关键词: 三氯氢硅 有机硅 硅烷偶联剂 DOI: 103969/jissn10035059200908023 被引量: 41

  • 改良西门子法百度百科

    改良西门子法 多晶硅 生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯 三氯氢硅 ,生成多晶硅沉积在硅芯上。 改良西门子工艺是在传统的西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4

  • 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应

    2023年1月24日  三氯氢硅生产主要有3个工序:三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加热至一定的温度,然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐,最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉,与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应;生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器、2级冷凝器

  • 世界上主要的几种多晶硅生产工艺

    2010年3月10日  世界上主要的几种多晶硅生产工艺 1, 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    硅粉精制工艺 21 硅粉的性质 硅的密度为2329kg\cm3,沸点为2355℃,熔点为1480~1500℃,在三氯氢硅生产中其水分小于200ppm。 有水易于形成盐酸,盐酸因含有游离氢而腐蚀设备,其爆炸极限下限为160g\ cm3。 硅在地壳中分部很广,约占地壳总质量的1/4,仅次于氧。 主要分部于黑龙江、吉林。 硅分无定形硅和晶体硅。 晶体硅是灰色有

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  • 多晶硅研究系列1:三大生产工艺的比较 1多晶硅的生产工艺

    2012年3月27日  改良西门子法是一种化学方法,首先利用冶金硅(纯度要求在995%以上)与氯化氢(HCl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(SiHCl3,下文简称TCS),然后将TCS精馏提纯,最后通过还原反应和化学气相沉积(CVD)将高纯度的TCS转化为高纯度的多

  • 三氯氢硅生产工艺流程 百度文库

    三氯氢硅生产工艺流程 三氯氢硅合成。 将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。 在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。 生成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器、旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷,经水冷后

  • 三氯氢硅制备工艺介绍 百度学术

    从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法。 前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氯气、硅粉、氯化氢为原料制备三氯氢

  • 三氯氢硅制备工艺介绍

    摘要: 从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氢气、硅粉、氯化氢为原料制备

  • 三氯氢硅生产及工艺 百度学术

    张祖光 摘要: 对三氯氢硅的市场情况进行了预测,简述了三氯氢硅的生产工艺,并对生产工艺中的危险性进行了分析,提出相应的措施 关键词: 三氯氢硅 有机硅 硅烷偶联剂 DOI: 103969/jissn10035059200908023 被引量: 41

  • 改良西门子法百度百科

    改良西门子法 多晶硅 生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯 三氯氢硅 ,生成多晶硅沉积在硅芯上。 改良西门子工艺是在传统的西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4